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六氟乙烷的應(yīng)用
2012-2-13 17:43:12
電子工業(yè)：六氟乙烷作為等離子蝕刻工作氣體在發(fā)展微電子工業(yè)方面起著重要作用，是加工超大規(guī)模集成塊工藝中所必需的介質(zhì)；
制冷空調(diào)業(yè)：六氟乙烷右用做制冷和空調(diào)的冷媒。六氟乙烷還可與HFC-23組成不損害臭氧層的共沸劑R-508B,R-508B用做多級(jí)壓縮循環(huán)中在低溫段替代CF-13和R-503的替代物；
化學(xué)工業(yè)：六氟乙烷可用做化學(xué)反應(yīng)中的添氟劑；
電力工業(yè)：六氟乙烷可用做電氣設(shè)備的絕緣劑和高介電強(qiáng)度冷卻劑；
其它：六氟乙烷可用于器件表面清洗，還可用于光纖生產(chǎn)。
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