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最新電子級(jí)特種氣體生產(chǎn)項(xiàng)目落戶重慶市

2017-6-22 9:18:42

近日，中歐電子氣體及材料公司電子級(jí)特種氣體生產(chǎn)項(xiàng)目簽約落戶重慶市長(zhǎng)壽經(jīng)開區(qū)。
　該項(xiàng)目由邦盟（日本）資本有限公司投資4.6億元，分兩期建設(shè)年產(chǎn)5735噸電子級(jí)特種氣體生產(chǎn)基地，計(jì)劃今年11月開工，2018年3月一期建成投產(chǎn)，整個(gè)項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后將實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)值約10億元。該項(xiàng)目為重慶市首個(gè)電子級(jí)特種氣體生產(chǎn)項(xiàng)目，主要生產(chǎn)六氟化鎢、三氟化氮等27種（類）電子級(jí)特種氣體，部分產(chǎn)品填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白，可滿足集成電路、液晶面板生產(chǎn)工藝對(duì)高純特種氣體的需求。未來(lái)，還將在渝建設(shè)電子級(jí)特種氣體研發(fā)中心及設(shè)備生產(chǎn)基地。該項(xiàng)目的落戶，加強(qiáng)了該市電子專用原材料的本地配套能力，進(jìn)一步完善了電子核心基礎(chǔ)部件產(chǎn)業(yè)鏈條，將有力助推重慶市戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
說(shuō)到電子氣體，下面譜源氣體給大家全面介紹多種電子氣體
摻雜氣：

AsH3、PH3、GeH4、B2H6、AsCl3、AsF3、H2S、BF3、BCl3、SeH2、SbH3、(CH3)2Te、(CH3)2Cd、(C2H5)2Cd、PCl3、(C2H5)2Te

晶體生長(zhǎng)氣：

SiH4、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、B2H6、BBr3、BCl3、AsH3、PH3、GeH4、TeH2、(CH3)3Al、(C2H5)3Al、(CH3)3As、(C2H5)3As、(CH3)2Hg、(CH3)P、(C2H5)3P、SnCl4、GeCl4、SbCl5、AlCl3、Ar、He、H2

氣相蝕刻氣：

CL2、HCl、HF、HBr、SF6

等離子蝕刻氣：

SIF4、CF4、C3F8、CHF3、C2F6、CClF3、O2、C2ClF5、NF3、SF6、BCl3、HFCl2、N2、He、Ar

離子束蝕刻氣：

C3F8、CHF3、CClF3、CF4

離子注入氣：

AsF3、PF3、PH3、BF3、BCl3、SiF4、SF6、H2、N2

化學(xué)氣相淀集氣：

SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、NH3、NO、O2

平衡氣：

N2、Ar、He、H2、CO2、N2O、O2

外延氣：

SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、Si2H6、HCl、PH3、AsH3、B2H6、He、H2、N2、Ar

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