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三氯硅烷SiHCl₃

1.別名·英文名

硅氯仿、硅仿、三氯氫硅；Trichlorosilane、Silicochloroform．

2.用途

單晶硅原料、外延成長、硅液、硅油、化學(xué)氣相淀積、硅酮化合物制造、電子氣。

3.制法

(1)在高溫下Si和HCl反應(yīng)。

(2)用氫還原四氯化硅(采用含鋁化合物的催化劑)。

4.理化性質(zhì)

分子量： 135.43

熔點(diǎn)(101.325kPa)： -134℃

沸點(diǎn)(101.325kPa)： 31.8℃

液體密度(0℃)： 1350kg/m³

相對密度(氣體，空氣=1)： 4.7

蒸氣壓(-16.4℃)： 13.3kPa

(14.5℃)： 53.3kPa

燃點(diǎn)： -27.8℃

自燃點(diǎn)： 104.4℃

閃點(diǎn)： -14℃

爆炸下限： 9.8%

毒性級別： 3

易燃性級別： 4

易爆性級別： 2

三氯硅烷在常溫常壓下為具有刺激性惡臭易流動易揮發(fā)的無色透明液體。在空氣中極易燃燒，在-18℃以下也有著火的危險，遇明火則強(qiáng)烈燃燒，燃燒時發(fā)出紅色火焰和白色煙，生成SiO₂、HCl和Cl₂。

SiHCl₃+O₂→SiO₂+HCl+Cl₂

三氯硅烷的蒸氣能與空氣形成濃度范圍很寬的爆炸性混合氣，受熱時引起猛烈的爆炸。它的熱穩(wěn)定性比二氯硅烷好，在900℃時分解產(chǎn)生氯化物有毒煙霧(HCl)，還生成Cl₂和Si。遇潮氣時發(fā)煙，與水激烈反應(yīng)。

2SiHCl₃+3H₂O—→ (HSiO)₂O+6HCl

在堿液中分解放出氫氣。 SiHCl₃+3NaOH+H₂O—→Si (OH)₄+3NaCl+H₂

與氧化性物質(zhì)接觸時產(chǎn)生爆炸性反應(yīng)。與乙炔、烴等碳?xì)浠衔锓磻?yīng)產(chǎn)生有機(jī)氯硅烷。

SiHCl₃+CH≡CH一→CH₂CHSiCl₃SiHCl₃+CH₂=CH₂—→CH₃CH₂SiCl₃

在氫化鋁鋰、氫化硼鋰存在條件下，SiHCl₃可被還原為硅烷。容器中的液態(tài)SiHCl₃當(dāng)容器受到強(qiáng)烈撞擊時會著火。可溶解于苯、醚等。無水狀態(tài)下三氯硅烷對鐵和不銹鋼不腐蝕，但是在有水分存在時腐蝕大部分金屬。

三氯硅烷和一些物質(zhì)混合接觸時的危險性如下表：

混合接觸危險物質(zhì)名稱	化學(xué)式	危險等級	摘要
氯酸鈉高氯酸鈉過氧化氫過氧化鈉硝酸銨硝酸鈉高錳酸鉀硝酸硫酸三氧化鉻亞氯酸鈉溴酸鈉重鉻酸鉀	NaClO₃ NaClO₄ H₂O₂ Na₂O₂ NH₄NO₃ NaNO₃ KMnO₄ HNO₃ H₂SO₄ CrO₃ NaClO₂ NaBrO₃ K₂Cr2O₇	B B B A B B B B C B B B B