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O2_電子工業(yè)用氣體 氧國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB_T 2014604-2009
2019-6-21 11:18:10
一、范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氧的技術(shù)要求，試驗(yàn)方法及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于以深冷法、電解法提取的氣態(tài)或液態(tài)氧，以及經(jīng)純化方法得到的氧。它們主要用于二氧化硅化學(xué)氣相淀積，用作氧化源和生產(chǎn)高純水的反應(yīng)劑，用于等離子體蝕刻和剝離、光導(dǎo)纖維。
分子式：O2
二、技術(shù)要求
電子工業(yè)用氣體氧的質(zhì)量應(yīng)符合表1的要求
三、試驗(yàn)方法
1、氧純度/含量
氧純度的體積分?jǐn)?shù)不低于99.98X10-2的按以下公式計(jì)算：
W=100-(W1+W2+W3+W4+W5+W6+W7+W8+W9+W10)x10-4
W——氧純度（體積分?jǐn)?shù)）/10-2
W1——?dú)浜浚w積分?jǐn)?shù)）/10-6
W2——?dú)搴浚w積分?jǐn)?shù)）/10-6
W3——氮含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6
W4——一氧化碳含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6
W5——二氧化碳含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6
W6——總烴含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6
W7——一氧化氮含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6
W8——一氧化亞氮含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6
W9——氪含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6
W10——水含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6
四、安全要求
1、氧的生產(chǎn)、使用以及貯運(yùn)應(yīng)符合GB 16912《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》(2000年） 、《壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》(1999年）等相關(guān)規(guī)定。
2、氧是一種強(qiáng)氧化劑。與可燃物質(zhì)和還原性物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)，有著火和爆炸危險(xiǎn)。
3、液氧迅速蒸發(fā)可能引起凍傷，在極高濃度時(shí)刺激呼吸道 ，可能對(duì)中樞神經(jīng)系統(tǒng)有影響。 凍傷時(shí)，用大量水沖洗，不要脫去衣服 ，給予醫(yī)療護(hù)理 。
4、浸飽液氧的工作服可能有嚴(yán)重的火災(zāi)危險(xiǎn)。不要在火焰或高溫表面附近或焊接時(shí)使用 。
5、與氧接觸時(shí)，禁止明火 、禁止火花和禁止吸煙。禁止與易燃物質(zhì)接觸。禁止與還原劑接觸。 周圍環(huán)境著火時(shí)，允許 使用各種滅火劑。
6、液氧泄漏時(shí)應(yīng)保持通風(fēng)并移除全部引燃源，不要用鋸末或其他可燃吸收劑吸收。切勿直接向液體上噴水 。
7、貯存氧的地點(diǎn)應(yīng)是陰涼場(chǎng)所，具備耐火條件。 氧應(yīng)與可燃物質(zhì)和還原 物質(zhì)分開存放。
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