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工業(yè)六氟化硫純度標準
2019-6-27 9:11:44
SF6_工業(yè)六氟化硫技術(shù)標準：
| 項目名稱 | 指標 | |
| 六氟化硫SF6純度（質(zhì)量分數(shù)）/10-2 | ≥ | 99.9 |
| 空氣含量（質(zhì)量分數(shù)）/10-5 | ≤ | 300 |
| 四氟化碳（CF4）（質(zhì)量分數(shù)）/10-6 | ≤ | 100 |
| 六氟乙烷（C2F6）（質(zhì)量分數(shù)）/10-6 | ≤ | 200 |
| 八氟丙烷（C3F8）（質(zhì)量分數(shù)）/10-6 | ≤ | 50 |
| 水（H2O）（質(zhì)量分數(shù)）/10-6 | ≤ | 5 |
| 酸度（以HF計）（質(zhì)量分數(shù)）/10-6 | ≤ | 0.2 |
| 可水解氟化物（以HF計）含量(質(zhì)量分數(shù)）/10-6 | ≤ | 1 |
| 礦物油含量（質(zhì)量分數(shù)）/10-6 | ≤ | 4 |
| 毒性 | 生物試驗無毒 |
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