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常用電子混合氣體
2008-9-9 10:05:00 [點(diǎn)擊下載：20089910535984.pdf]
電子混合氣體廣泛用于大規(guī)模集成電路（L.S.I）超大規(guī)模集成電路（V.L.S.I）和半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中，主要用于氣相外延（生成）、化學(xué)氣相淀積、摻雜（雜質(zhì) 擴(kuò)散）、各類(lèi)蝕刻和離子注入等工藝中。
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